GB/T 47926-2026 推荐性国家标准 GB/T 47926-2026 半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范 GB/T 47926-2026 半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范。该标准状态为即将实施，2026-07-30 发布，2027-02-01 实施。全文PDF下载。 2026-10-17 查看下载 →
