GB/T 47725-2026 微机电系统(MEMS)技术 硅通孔三维结构可靠性评价要求

《微机电系统(MEMS)技术 硅通孔三维结构可靠性评价要求》(GB/T 47725-2026)已由国家标准化管理部门正式发布。该标准于 2026-05-25 发布,2026-12-01 起实施。当前标准状态为「即将实施」。本页提供该国家标准的完整信息说明,全文 PDF 文件可通过下方链接获取。

标准基本信息

标准号 GB/T 47725-2026
中文标准名称 微机电系统(MEMS)技术 硅通孔三维结构可靠性评价要求
英文标准名称 Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Requirements for reliability evaluation of three-dimensional structure of through-silicon vias
标准状态 即将实施
发布日期 2026-05-25
实施日期 2026-12-01
中国标准分类号(CCS) L55
国际标准分类号(ICS) 31.200
主管部门 国家标准委
归口部门 国家标准委
发布单位 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会

标准全文获取说明

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资源信息

  • 文件类型:PDF
  • 共享日期:2026-05-25